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RELATED ARTICLES簡要描述:日本MEG對齊單元X9113A-C用于光學或機械系統(tǒng)的精密對齊(Alignment),常見于半導體設備、激光加工系統(tǒng)、高精度檢測儀器等需要微米級定位的場景。精密儀器制造商,專注于光學、電子測量設備。緊湊節(jié)省空間,高速運行,備有帶馬達型號、外部驅動型號,此外,還可以選擇主體安裝方式和鰭片形狀等。
深圳納加霍里科技專業(yè)代理銷售日本MEG對齊單元X9113A-C 產品特點如下:
日本MEG對齊單元X9113A-C用于光學或機械系統(tǒng)的精密對齊(Alignment),常見于半導體設備、激光加工系統(tǒng)、高精度檢測儀器等需要微米級定位的場景。
精密儀器制造商,專注于光學、電子測量設備。
小型緩沖類型主體□30mm濃縮緩沖必要的功能,緊湊節(jié)省空間,高速運行,備有帶馬達型號、外部驅動型號,此外,還可以選擇主體安裝方式和鰭片形狀等
備有本體安裝部形狀、指狀物形狀、驅動方式等多種種類。
小型類型的基本機構原封不動,實體從上側用M3螺絲能安裝的模型,小型A型還備有可實現(xiàn)閉環(huán)控制的α STEP馬達型號。
這是一種小型類型,有多年的經驗,本體安裝,利用本體背面的M2抽頭,備有帶M2螺絲5相步進馬達和外部驅動的連接類型。
小型A型的基本機構是原封不動地從本體側面拿出鰭片的模型,主體上面沒有角孔,小型AP類型還準備了可實現(xiàn)閉環(huán)控制的α STEP馬達型號,主體安裝從主體上面用M3螺絲擰緊。
核心功能
高精度調整:通過精密機械結構或壓電驅動實現(xiàn)亞微米級(可能達0.1μm以下)的位置校準。
多軸控制:可能支持X/Y/Z三軸或傾斜(θx/θy)方向的獨立調整。
集成傳感器:部分型號內置位移傳感器或光學編碼器,實時反饋位置信息。
兼容性:適配多種光學元件(透鏡、反射鏡)或機械組件。
應用領域
半導體制造:光刻機組件對齊。
激光加工:光束路徑校準。
科研儀器:干涉儀、顯微鏡的樣品臺定位。
產品特點
剛性設計:鋁合金或不銹鋼材質,確保穩(wěn)定性。
防震設計:減少環(huán)境振動影響。
模塊化:可與其他MEG單元組合使用(如旋轉臺X系列)
技術參數(shù)
項目 | 參數(shù) |
---|---|
調整范圍 | ±5mm(線性軸) |
分辨率 | 0.1μm |
重復精度 | ±0.2μm |
負載能力 | 5kg(需確認) |
驅動方式 | 手動微調或電動驅動 |
接口 | RS-232/USB |
規(guī)格
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